截至8月28日收盤，光刻機概念下跌1.95%，在概念板塊跌幅榜中表現較為靠前。該板塊內，C高凱、超純應材、旭光電子等股票跌幅較大。盡管如此，仍有9只股票上漲，其中賽微電子、富樂德和*ST和科分別上漲了9.01%、6.75%和4.24%。

從資金流向來看，當天光刻機概念板塊主力資金凈流出達17.49億元。具體而言，江豐電子凈流出最多，達到3.63億元；賽微電子、中船特氣和泰晶科技緊隨其后，分別凈流出2.38億元、2.37億元和2.18億元。相比之下，炬光科技、騰景科技和富樂德則獲得了較多的主力資金流入，分別為2.45億元、1.68億元和8443.63萬元。股市有風險，投資需謹慎。